隔膜式真空閥和真空擋板閥的結構特點(diǎn)

 真空閥門(mén)的基本特點(diǎn)是具有較高的氣密封（密封可靠）；對氣流的阻力盡量?。撮y門(mén)的流導盡可能 大）；密封部件耐磨性好，能反復使用、壽命長(cháng)；閥體材料及密封件放氣量??；操作靈活，容易清洗安裝，性能可靠、維修方便。此外，對于超高真空閥門(mén) 還要求能耐高溫烘烤（450°C）;對節流閥要求能均勻調節氣體流量。

常用真空閥門(mén)閥體的材料主要有金屬和玻璃。手動(dòng)真空閥門(mén)驅動(dòng)手輪采用高強度塑料材料。玻璃真空活塞又稱(chēng)“考克”，一般用于玻璃真空系統、小型真空裝置、真空計規管或校準系統上。優(yōu)點(diǎn)是制作比較容易、使用方便，易于清洗觀(guān)察，化學(xué)穩定和絕緣性 好，放氣量較小等。不足之處是由于玻璃的脆性及活塞彎口處涂一層油脂，故限制了它的使用范圍。工業(yè)生產(chǎn)所需要的真空裝置，如真空鍍膜設備、真空冶煉設備、真空熱處理設備、空間環(huán)境模擬設備、火箭發(fā)動(dòng)機模擬設備、衛星表面帶電模擬設備、粒子加速器 及受控核聚變裝置、重離子加速器等都采用金屬閥門(mén)。

真空閥門(mén)通常根據閥門(mén)的工作特性、傳動(dòng)原理、 連接方式和用途等進(jìn)行分類(lèi)。

根據工作壓力分：低真空閥門(mén)、高真空閥門(mén)、超高真空閥門(mén)。

根據用途分：截止閥、隔離閥、充（放）氣閥、節流閥、換向閥、封閉送料閥等。

根據傳動(dòng)原理分：手動(dòng)閥、手電兩用閥、電磁閥、氣動(dòng)閥和液動(dòng)式真空閥。

根據材料分：玻璃真空活塞（考克）、金屬真空閥。

根據結構特點(diǎn)分：擋板閥、翻板閥、蝶閥、球閥、連桿閥、隔板閥、閘閥、雙通閥、三通閥、四通直通閥和直通閥等。

22. 2. 2 類(lèi)型

（1）隔膜式真空閥

隔膜式真空閥是利用閥桿將橡膠隔膜直接壓在閥座上，用來(lái)截止或接通氣流。它常裝在被抽真空容器與各種低真空泵之間。典型的隔膜式真空閥結構圖如圖 22-1 所示。

其動(dòng)作原理是旋轉手柄使閥桿向下運動(dòng)，將橡膠隔膜直接壓在閥座上，截止氣流。反方向旋轉手輪，閥桿向上運動(dòng)，帶動(dòng)橡膠隔膜離開(kāi)閥座，接通氣流。 閥門(mén)主體采用鋁合金鑄造。結構簡(jiǎn)單、質(zhì)量輕、體積小，密封性能良好。采用丁腈橡膠的隔膜真空閥，用 于前級和預抽低真空管道上及溫度一 25?80°C的非腐蝕性氣體。采用氟橡膠的隔膜真空閥，可用于高真空系統，使用溫度范圍為一30?150°C。

（2）真空擋板閥

真空擋板閥的工作原理是閥板通過(guò)閥桿做上下運動(dòng)而實(shí)現密封的。驅使閥桿運動(dòng)的傳動(dòng)部件有手動(dòng)、 手電兩動(dòng)、氣動(dòng)三種方式。手動(dòng)傳動(dòng)部件，以螺紋結構為主，也可以采用平凸輪結構。圖22-2和圖22-3 分別為直角式、直通式真空擋板閥結構示意圖。手動(dòng) 兩用的傳動(dòng)部件，由電動(dòng)機、蝸輪、蝸桿組成，并裝有行程開(kāi)關(guān)。當接通電源后，電動(dòng)機按某一方向（如開(kāi)啟方向）旋轉，通過(guò)蝸輪、蝸桿帶動(dòng)閥桿向上運動(dòng)使閥板上升，當閥上升到一定高度時(shí)，行程開(kāi)關(guān)自動(dòng)切斷電源，閥桿運動(dòng)立即停止，反之亦然。手動(dòng)時(shí)，

松開(kāi)手輪背帽，用手按一定方向轉動(dòng)手輪即可，圖22-4為GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖。氣動(dòng)傳動(dòng)部件以壓縮干燥空氣為動(dòng)力，通過(guò)電磁換向閥改變氣路方向，推動(dòng)汽缸活塞上下運動(dòng)，帶動(dòng)閥桿上下運動(dòng)，使閥板開(kāi)啟關(guān)閉，從而達到接通或停止氣流的 目的。

真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統接通或截止氣流。 適用壓力范圍：軸封為橡膠時(shí)為1.3X10_4?105Pa; 軸封為波紋管結構時(shí)為1.3X10-5?105Pa。工作介

截止氣流，可安裝在被抽真空容器（真空室）與真空泵之間；或用于在半連續真空作業(yè)的進(jìn)出料容器上。 使用溫度為一20?80°C，不適用于對黑色金屬有腐蝕性或含顆粒狀物灰塵的氣體。

b.超高真空插板閥主要用于超高真空系統中接通或截止氣流。適用的介質(zhì)為潔凈的空氣或非腐蝕性氣體；適用溫度在閥門(mén)開(kāi)啟時(shí)，閥體允許烘烤溫度小于 150°C。

由于真空插板閥具有流導大，密封性能好，放氣率低，體積小，結構緊湊、合理，操作方便，安裝位置可任意選擇等一系列優(yōu)點(diǎn)，因此真空插板閥廣泛用 于中、大型高真空、超高真空裝置的真空系統中。

②形式和性能參數

a.高真空插板閥的形式與基本參數，已有行業(yè)標準（JB/T 4077—91）。該標準規范的高真空插板閥的形式和基本參數，適用于1.3X10-5?1.0X105Pa

真空系統中用來(lái)幵啟或隔斷氣流的插板閥。幵啟閥門(mén)時(shí)，閥板兩側的壓差應小于或等于2. 7kPa。

b.我國生產(chǎn)的超高真空插板閥有手動(dòng)（CC型）、 氣動(dòng)（CCQ型）和電動(dòng)（CCD型）三種。適用于介質(zhì)為清潔空氣及非腐蝕性氣體的超高真空系統中切斷 或接通氣流。其中GC型系列高真空插板閥是以螺桿傳動(dòng)來(lái)推動(dòng)鋼球運動(dòng)，撐開(kāi)閥板關(guān)閉，又靠彈簧力收 攏閥板打開(kāi)的高真空閥門(mén)；GCQ系列以壓縮空氣為動(dòng)力推動(dòng)鋼球運動(dòng)，實(shí)現閥門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉。這兩種閥的材料為不鎊鋼，漏氣速率不超@ 1.3X 10-7 Pa • L/So GCD型系列閥門(mén)形式同CCl5型超高真空插板閥，只是連接法蘭按高真空法蘭由刀口金屬密封 結構改為丁腈橡膠圈密封結構；閥體閥板材料可為不 銹鋼或碳鋼鍍鎳，閥板密封件材料為丁腈橡膠。適用范圍為 1.3X104 ?105Pa。